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MFC流量控制器的工作原理和作用是什么

更新時(shí)間:2022-07-19      點(diǎn)擊次數(shù):1331
 
  MFC流量控制器由傳感器,接入器,主機(jī),監(jiān)控設(shè)備,人機(jī)界面和節(jié)流閥(或者節(jié)流閥組)組成。傳感器收集流量等信息,通過接入器接入到主機(jī),這個(gè)主機(jī)由可能是單片機(jī),也可能是PC機(jī),甚至可能是更高級(jí)的計(jì)算機(jī)。
 
  MFC流量控制器是一個(gè)多孔板組合的聯(lián)動(dòng)裝置,是目前國(guó)產(chǎn)較為可靠的解決動(dòng)態(tài)水力平衡的元件。它由一個(gè)流量設(shè)定調(diào)節(jié)閥,即手動(dòng)的可調(diào)孔板(相當(dāng)于一個(gè)靜態(tài)平衡元件)和二個(gè)閥瓣及彈簧、膜片組成的動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)裝置。即自動(dòng)的可調(diào)孔板(相當(dāng)于一個(gè)動(dòng)態(tài)平衡元件)組成。
 
  MFC流量控制器帶有結(jié)實(shí)本體,兩個(gè)連接法蘭,帶磁鐵和帶刻度的不同流程范圍的調(diào)節(jié)插板,密封條,帶電磁觸點(diǎn)的指針,電路系統(tǒng)連接器。液體或氣體從固定在直立方向的設(shè)備底部向上流動(dòng),從而推動(dòng)可變顯示部分的調(diào)節(jié)插板的位置,并且可以通過觀察管道上有可視刻度線的部分,紅色刻度表示流速在某一個(gè)值上。通過這種方式可以讀取循環(huán)中的瞬時(shí)流量。
 
  浸入流體內(nèi)部的指示調(diào)節(jié)閥門,在沒有機(jī)械摩擦力的情況下可以自由移動(dòng),在內(nèi)部所襯磁鐵產(chǎn)生的磁場(chǎng)作用下,電子報(bào)警觸點(diǎn)就會(huì)接觸。依靠開關(guān)上有基準(zhǔn)指示的可移動(dòng)指針,觸點(diǎn)的斷開與接觸由所檢測(cè)液體的流速來決定,并顯示在內(nèi)部標(biāo)簽上。
 
  MFC流量控制器用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復(fù)性好。
 
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