特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體三種,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、化工、醫(yī)療、環(huán)保裝備制造等L域。到目前為止,特種氣體中單元純氣體共有260種。下面為您做詳細(xì)介紹:
1、氮?dú)?N2,純度要求>99.999%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、在線(xiàn)儀表標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、零點(diǎn)氣、平衡氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻、退火、搭接、燒結(jié)等工序;電器、食品包裝、化學(xué)等工業(yè)也要用氮?dú)狻?br />
2、氧氣-O2,>99.995%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣在線(xiàn)儀表標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、零點(diǎn)氣;還可用于醫(yī)療氣;在半導(dǎo)體器件制備工藝中用于熱氧化、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、等離子干刻等工序;以及用于光導(dǎo)纖維的制備。
3、氬氣-Ar,>99.999,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、零點(diǎn)氣、平衡氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、氮化、噴射、等離子干刻、載流、退火、搭接、燒結(jié)等工序;特種混合氣與工業(yè)混合氣也使用氫。
4、氫氣-H2,>99.999%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、零點(diǎn)氣、平衡氣、校正氣、在線(xiàn)儀表標(biāo)準(zhǔn)氣;在半導(dǎo)體器件制備工藝中用于晶休生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等工序;在化學(xué)、冶金等工業(yè)中也有用。
5、氦氣-He,>99.999%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、零點(diǎn)氣、平衡氣、校正氣、醫(yī)療氣;于半導(dǎo)體器件制備工藝中晶體生長(zhǎng)、等離子干刻、載流等工序;另外,特種混合氣與工業(yè)混合氣也常用。
6、氯氣-Cl2,>99.96%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中晶體生長(zhǎng)、等離子干刻、熱氧化等工序;另外,用于水凈化、紙漿與紡織品的漂白、下業(yè)廢品、污水、游泳池的衛(wèi)生處理;制備許多化學(xué)產(chǎn)品。
7、氟氣-F2,>98%,用于半導(dǎo)體器件制備工藝中等離子干刻;另外,用于制備六氟化鈾、六氟化硫、三氟化硼和金屬氟化物等。
8、氨氣-NH3,>99.995%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、在線(xiàn)儀表標(biāo)準(zhǔn)氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中氮化工序;另外,用于制冷、化肥、石油、采礦、橡膠等工業(yè)。
9、氯化氫-HCI,>99.995%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、熱氧化、擴(kuò)散等工序;另外,用于橡膠氯氫化反應(yīng)中的化學(xué)中間體、生產(chǎn)乙烯基和烷基氯化物時(shí)起氧氯化作用。
10、一氧化氮-NO,>99%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中化學(xué)氣相淀積主序;制備監(jiān)控大氣污染的標(biāo)準(zhǔn)混合氣。
11、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、在線(xiàn)儀表標(biāo)推氣、校正氣;于半導(dǎo)體器件制備工藝中氧化、載流工序警另外,還用于特種混合氣、發(fā)電、氣體置換處理、殺菌氣體稀釋劑、滅火劑、食品冷凍、金屬冷處理、飲料充氣、煙霧噴射劑、食品貯存保護(hù)氣等。
12、氧化亞氮-N2O,(即笑氣),>99.999%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、醫(yī)療氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中化學(xué)氣相淀積、醫(yī)月麻醉劑、煙霧噴射劑、真空和帶壓檢漏;紅外光譜分析儀等也用。
13、硫化氫-H2S,>99.999%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中等離子干刻,化學(xué)工業(yè)中用于制備硫化物,如硫化鈉,硫化有機(jī)物;用作溶劑;實(shí)驗(yàn)室定量分析用。
14、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延丫、化學(xué)氣相淀積等工序;另外,用作溶劑、有機(jī)物的氯化劑、香料的浸出劑、纖維的脫脂劑、滅火劑、分析試劑、制備氯仿和藥物等。
15、氰化氫-HCN,>99.9,用于半導(dǎo)體器件制備工藝中等離子干刻工序;制備氫氰酸溶液,金屬氰化物、氰氯化物;也用于制備丙烯睛和丙烯衍生物的合成中間體。
特種氣體,氣體工業(yè)名詞,是指那些在特定L域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。門(mén)類(lèi)繁多,通??蓞^(qū)分為電子氣體,標(biāo)準(zhǔn)氣,環(huán)保氣,醫(yī)用氣,焊接氣,殺菌氣等,廣泛用于電子,電力,石油化工,采礦,鋼鐵,有色金屬冶煉,熱力工程,生化,環(huán)境監(jiān)測(cè),醫(yī)學(xué)研究及診斷,食品保鮮等L域。特種氣體用途及應(yīng)用行業(yè)介紹如下。