MFC流量控制器，即MassFlowMeter(MFM)，是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。
MFC流量控制器不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
簡單來說，質量流量計只測量不控制。而質量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。
MFC流量控制器的主要的優(yōu)點：
（1）直接測量氣體的質量流量
熱式質量流量計直接測量流體質量流量，輸出質量流量信號，無需其他設備，如溫度測試儀和壓力表，也無需進行換算。
（2）無可移動部分
本身無類似轉軸等的移動部件，增加了本身的可靠性，無需機械維護。
（3）可以準確的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。
（4）測量控制的自動化
質量流量計／質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示，流量自動計量，數據自動記錄，計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0～+5V或4～20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。
（5）準確地定量控制流量
質量流量控制器可以準確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制等。
（6）準確度高，重復性好
準確度可達+-1%F.S（fullscale）重復性為＋-0.25%F.S（fullscale）
（7）體積小巧，安裝方便，操作簡單
（8）技術先進，符合發(fā)展潮流
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